Aehr MAX5 老化失效测试系统

Aehr产品系列：

MAX 5 BURN-IN 测试系统

48 Slots 
9 电源每块BIB
高压选件
128双向测试通道
高级DUT监控
DUT电流测试
独立热控制
简单或复杂测试计划
GUI编程接口
MAX3兼容配置选件

高压：Up to 1,000V, 1,600V, and 1,900V Options

每颗芯片实时电压电流测试：

• 电压测试:1mV ~2000V
• 电流测试：1uA~100A

在老化期间的实时监测和测试

• 预期数据比较
• 寿命符号检测
• 电压测量
• 电流测量
• 温度测量

故障触发和日志记录/关闭触发和日志记录

MAX5 Chamber

最多支持64个插槽(48个高压选项插槽）

1.8英寸（45.7mm）或2.4英寸（61mm）的槽间距

气流：高达6000cfm

Burn-in温度高达150°C

功率消耗：在150°C时高达36 kW

安全特性：

• 电子安全联锁
• 高压屏蔽和屏障
• EPO 开关

可选与MAX3BIB兼容

MAX5 DUT 每个插槽电源

每个插槽最多标准配置6个PS模块：

可用的可互换的PS模块：

⚫0.7至7.5 V/25A（最大200W）

⚫1至20V/15A（最大200W）

⚫1至60V/1A（最大60W）

每PS或每DUT电流监测

所有的PS都是完全可编程的

可选的高压附加组件，每个插槽

⚫高达1000V、1600V、1900V（200 mA最大）

⚫加上两个浮动+/- 32V（5A）PS

可选的高电流附加组件，每个插槽

⚫附加6个4V @ 50A模块

⚫可以成对连接GANG到3个4V @ 100A

MAX5 每个插槽测试电性能

每个BIB都是它自己的测试区域

最多有128个双向通道

• 向量模式/比较数据通道
• 模拟测量通道

Pin Electronics

• 可编程VIH至8V
• 两个可编程VIH电平
• 两个可编程Vth电平
• 高速引脚驱动
• 64个 timing sets,分配到每个pin

电压电流测量

• Per Dut 测试
• 超限关闭

Pattern generator模块

• 128通道，32M向量深度
• NRZ，RZ，RO，三态
• 高达20MHz数据速率（50ns）
• 重复和循环命令